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高纯气路美国世伟洛克
提供半导体、微电子方面的超高纯气体输送全面解决方案
高纯输送系统规划与设计
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系统调试和启动
普通气体以及各种大宗气体(氮、氧、氩、氦、氢、压缩空气)的输送系统工艺设计气站、特气气体房、纯化器房、气体品质监测系统、气体控制系统、高纯设备(纯化器、压力控制器、过滤器)、超高纯气体输送管道系统的概念及详细设计,制造与现场安装, 测试及开车调试
各种电子特种气体输送系统工艺设计
特气房、气瓶柜/架、分气箱/盘,阀组、特气管线(主管、二次配管)、气体侦测系统等
真空设备至工艺设备的管道规划和连接.