适用于洁净工艺应用的多级罗茨泵
Pfeiffer 普发的多级罗茨泵兼具出色的耐用性和高运行可靠性。它们非常适合需要洁净、无油和无颗粒真空环境的应用，例如半导体制造或真空镀膜。
洁净真空应用的理想解决方案
ACP 系列、
A 100 L 和 A 200 L 系列以及
TORRI BD 真空泵是专为需要高纯度和运行可靠性的洁净工艺而设计的先进解决方案。
ACP 系列采用变速驱动、风冷系统，凭借精确校准的间隙实现非接触式运行，维护需求极低，可提供稳定的性能和耐用性。这些特点使得该系列真空泵能够高效运行，并且有多种型号可供选择。每种型号均针对特定应用进行了优化：从处理洁净、无腐蚀性的气体到处理微量腐蚀性气体工艺均能胜任。ACP 系列内置气镇阀，有效提高对轻质气体的抽速，并防止泵内发生冷凝。这些特性使 ACP 系列成为半导体制造、医疗和制药行业以及研发等领域干式真空工艺的理想选择。
A 100 L 和 A 200 L 系列采用紧凑型设计，提供灵活的水平/垂直进气口连接方案，便于无缝集成至现有系统中。凭借其出色的性能和能效，它们能够快速处理大量气体，在 Load lock 和传送室中实现快速、频繁的抽真空循环。
另一种适用于 Load lock 的解决方案是紧凑型 TORRI BD 真空泵。凭借久经验证的工作原理，它们能够实现高能效、低极限压力以及同类领先的腔体抽真空时间。
