工作时间
早9:00 - 晚18:00
周六日休息
发布日期：2026-4-20 12:47:05 访问次数：37
问题一： 实验室准备搭建一套高真空系统，需要选配离子泵，安捷伦 VacIon Plus 系列型号很多（如 20、55、150、300），该如何根据真空度和腔体大小选型？
解答（选型篇）：
离子泵选型核心看三个参数：预期真空度、腔体容积、气体种类。
1. 按真空度需求选（基础原则）
10^-6 ~ 10^-8 mbar 区间：常规表面分析、小型镀膜。可选择 VacIon Plus 20 或 55。体积小巧，抽速适中。
10^-8 ~ 10^-10 mbar 区间：MBE 分子束外延、高分辨电镜、低温 STM。建议选择 VacIon Plus 150 或 300。内部钛阴极面积更大，对惰性气体抽速更优。
极高真空 UHV（< 10^-10 mbar）：需选用 Noble Diode（贵金属二极管）或 TSP 复合泵 配置，单纯普通离子泵效率较低。
2. 按腔体容积换算（经验公式）
粗略估算：腔体容积（L） × 1.5 ~ 2 = 建议离子泵抽速（L/s）。
例如：腔体 100L，建议选用 150 L/s 或 200 L/s 型号（即 VacIon Plus 150）。
特别注意：如果腔体内有大量放气材料（如隔热棉、多孔陶瓷），抽速需翻倍预留。
3. 特殊气体考虑
如果抽除的气体含有大量 Ar 氩气 或 He 氦气，标准二极泵易出现"氩气不稳定性"。建议升级为 Noble Diode 贵金属阴极 型号。
问题二： 新装的离子泵在操作和烘烤时有什么特别需要注意的规范？怕操作不当把泵弄坏了。
解答（操作规范篇）：
离子泵结构虽简单（无转动部件），但 高压操作（3kV-7kV）和磁铁维护 非常讲究，以下红线请留意：
一、 严禁事项（会直接损坏泵体）
❌ 严禁大气下启动高压：必须在前级泵将真空抽至 ≤ 1×10^-4 mbar 后方可开启离子泵高压。大气下启动会瞬间拉弧烧毁高压馈入组件。
❌ 严禁带磁铁安装拆卸：VacIon Plus 磁铁磁场极强（>1000 Gauss）。安装或拆卸泵体连接螺栓时，必须先取下磁铁组，否则强磁场会吸附扳手/螺丝，极易打碎内部陶瓷绝缘件。
❌ 严禁拆除高压线直接触摸：断电后控制器内部电容仍有残存高压，需等待 5 分钟以上 再操作。
二、 烘烤规范（安捷伦标准流程）
烘烤温度：泵体区域 ≤ 350°C；磁铁区域 ≤ 250°C（过高会导致磁铁不可逆退磁）。
烘烤顺序：建议烘烤腔体的同时烘烤离子泵，且在烘烤结束降温至 150°C 以下后，再开启高压。热态下启动高压容易触发漏电流保护。
三、 日常监测
观察泵电流：VacIon Plus 正常工作电流通常在 μA 级别（微安）。若发现电流在无漏气情况下持续攀升至 mA 级，可能是内部 钛膜剥落短路 或 绝缘陶瓷污染，需要清洗或返修。
关于安捷伦离子泵的维修与选型支持
我司在北京地区提供安捷伦 VacIon Plus 全系列离子泵的 选型咨询、烘烤再生、内部清洗、高压馈入更换 服务。覆盖海淀区各大高校及怀柔科学城实验室。
需要具体配置方案可联系：13520003658/13311223897/13311311498
