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发布日期：2026-6-2 18:10:40 访问次数：96
我把它们的核心区别整理成了下面的表格，这样对比起来会更清楚：
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特性 |
PKR 251 |
IKR 270 |
IKR 361 |
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产品类型 |
全量程真空计 |
冷阴极真空计 |
冷阴极真空计 |
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测量原理 |
组合式 (Pirani + Cold Cathode) |
单一 (Cold Cathode) |
单一 (Cold Cathode) |
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测量范围 |
5 × 10⁻⁹ 至 1000 hPa-1 |
5 × 10⁻¹¹ 至 1 × 10⁻² hPa |
1 × 10⁻⁹ 至 1 × 10⁻² hPa |
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输出信号 |
0 - 10 V |
1.8 - 8.5 V |
2.5 - 8.5 V |
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烘烤温度 |
150 °C（电子元件移除后） |
250 °C (长管型) / 150 °C (标准) |
150 °C (电子元件移除后) |
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重量 |
约 700 g |
约 1100 g |
约 280 g |
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价格区间 |
(信息缺失) |
5千-1万 (估算参考) |
约 940 欧元 |
技术点解释： 普发（Pfeiffer）的冷阴极真空计基于倒置磁控管原理-，其测量过程会产生磁场。PKR 251通过优化设计，最小化了磁漏，对外部设备影响更小-2；IKR 270 采用了独特的金属密封和长管设计-16，使其能在250°C下稳定工作，但可能会对磁性敏感设备造成干扰；而IKR 361 采用了“大电流”或“高电流”设计，通过优化内部电极结构，在测量精度上与 IKR 270 相近，但磁场影响相对较强。
作为一款集成皮拉尼和冷阴极技术的“二合一”复合真空计，它的核心优势是一个接口就能覆盖从1000 hPa大气压到5×10⁻⁹ hPa超高真空的宽广量程。
适用场景：非常适合通用真空应用，如真空镀膜、检漏系统、科研实验等，特别是真空室需要频繁从大气抽至高真空的场景。
使用时需注意：在10⁻⁸至10⁻³ hPa范围内的精度为±30%，在高真空端的精度与IKR系列类似，但因其覆盖了整个粗真空范围，在个别极低压力下的测量下限不如IKR 270。
这是一款纯粹依靠冷阴极（倒置磁控管）原理的单一传感器真空计。其最大的亮点在于超低的测量下限，最低可达5 × 10⁻¹¹ hPa，非常适合需要极高真空度的环境。
适用场景：应用于超高真空工艺，如粒子加速器、表面科学、空间模拟等，或对性能要求苛刻的半导体制造。
使用时需注意：虽然测量下限极低，但其测量上限仅为1 × 10⁻² hPa，因此不能将其暴露于大气或更高的压力下-。同时，它的磁场泄漏也可能对附近的光电倍增管、电子显微镜等对磁场敏感的设备造成干扰。
它也属于单纯的冷阴极真空计，但相较于IKR 270，它在测量范围上做了调整，最低可测1 × 10⁻⁹ hPa，更适合日常的高真空应用。
适用场景：广泛应用于各种高真空工艺，如真空镀膜、分析仪器、一般科研实验等，特别是在安装空间有限的机台上。
使用时需注意：尽管其测量上限同样是1 × 10⁻² hPa，IKR 361的设计也更侧重于高真空范围，同样不能暴露于大气-。强磁场可能会干扰附近的电子设备，需注意安装距离。
综合以上区别，你可以根据具体需求来选择：
若需要从大气压到高真空的广泛覆盖，且安装空间有限 → PKR 251 是理想选择。
若追求极致的高真空和超高真空性能 → IKR 270 是专业的选项。
若专注于高效的高真空测量，且对成本、体积和兼容性有要求 → IKR 361 是高性价比的选择。
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